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       AFM探针的重要组成部分是：针尖、悬臂和基底。原子力显微镜检测到非常小的范德华力。探针决定了原子力显微镜灵敏度的核心，因此对探针材料有很高的要求。探针材料通常是单晶硅或氮化硅(Si3N4)，其中一些可以具有其他涂层(金或铝等)。背面涂层有助于改善悬臂反射并提高反射激光束的检测效率。其次，涂层可以赋予探针铁磁性或电性。

  除了AFM探针的材料选择，长度、宽度、弹性系数(k)以及刀尖的曲率半径和形状也非常重要。一般来说，悬臂的弹性系数k越大，共振频率(f0)越高。k越大，探针和样品之间的力越大，而力通常越小。探头太硬可能会损坏样品，探头太软可能会导致机械模量数据不准确。探头越尖，分辨率越高。如果探针不够细，它可能无法探测到样品的深槽或区分更详细的表面结构。但是针尖过尖会损伤样品表面，容易磨损。这时候建议用钝的针尖，针尖的形状也会对结果有一些影响。因此，在实际应用中，探头的质量直接影响成像结果，需要根据实际情况选择不同类型和规格的探头。

  AFM探针是需要导电的，并且可以在硅探针上沉积高导电的铂涂层。为了实现快速的数据传输速率，悬臂阵列需要以100mm  s-1的高速移动。高速摩擦磨损、高载荷和高温是该技术的主要障碍。一个重要的问题是探针尖端在高达630的温度下以每秒几十毫米的相对高速滑动接触的耐久性。

  基于AFM探针的记录技术具有优势。薄膜中铁电畴的成像利用了铁电体的基本特性，即它们的压电行为和表面电荷的存在。当显微镜以非接触模式工作时，静电力显微镜(EFM)可以检测与正常偏振分量成比例的静态表面电荷。

  AFM探针由于应用范围限于原子力显微镜，应用领域不广，在国际上的使用不多，属于高科技仪器的消耗品。主要生产厂家位于德国、瑞士、保加利亚、美国等。由于探测器寿命短、分辨率低、不稳定、一致性差，各国都在开发新的探测器。

  导电AFM探针用于EFM、KFM、单片机等。导电探针的分辨率比分接和接触探针差，使用时导电涂层容易脱落，导电性难以长时间保持。导电尖端的新产品包括碳纳米管尖端、金刚石涂层尖端、全金刚石尖端和全导线尖端。这些新技术克服了普通导电头寿命短、分辨率低的缺点。