涂胶显影

EVG 101涂胶/喷胶/匀胶系统
  • 产品品牌: 奥地利 EVG
  • 产品产地: 奥地利
  • 应用领域:
  • 产品简介: EVG 101是一款适合于研发的单腔晶圆涂胶显影设备，可用于喷胶、旋涂和显影，可在三维结构晶圆上完成光刻胶或聚合物的涂覆，并保持高均匀性

产品简介：

EVG 101是一款适合于研发的单腔晶圆涂胶显影设备，可用于喷胶、旋涂和显影，可在三维结构晶圆上完成光刻胶或聚合物的涂覆，并保持高均匀性。

主要特点及参数：

        ·最大可适用于12寸（300mm）晶圆

        ·手动装片，自动喷涂/旋涂，自动清洗腔室内残胶

        ·适用光刻胶范围广泛，粘度可达52000cp

        ·基片最大转速：10000r/min