电子显微镜分析仪

QUANTAX Micro-XRF
  • 产品品牌: 布鲁克 Bruker
  • 产品产地: 德国
  • 应用领域: 为目前可用的材料提供了最全面的成分和结构分析
  • 产品简介: 高速(大面积) X 射线元素面分析(薄膜厚度分析)

一、亮点

110ppm------检测极限

由于XRF谱图背景低于EDS谱图,Micro-XRF可实现微量元素分析

24mm/s------移动速度

可选的、快速样品、支持大面积的高速面分析

31 nm - 40um层厚度范围

可分析从1 nm40 um具有多层结构的薄膜

4)微区 XRF SEM EDS 分析的互补分析技术

a扫描电子显微镜(SEM)的微区 X 射线荧光 (Micro-XRF) 技术是与传统能量分散光谱(EDS)能力补充的无损分析技术。这种分析技术对于未知样品中元素成分的表征非常重要,而未知样品的尺寸可以从厘米尺寸的不均匀样品到微米尺寸的颗粒

bX射线激发源为微量元素的检测带来了更高的灵敏度(对于某些元素,检出限可低至 10ppm)。同时,光谱范围可以拓延(高达40 keV)以及探测深度可以更深

c配备 X 射线管,结合微聚焦 X 射线光学器件,可产生 30 μm 的小束斑和高强度通量

d模块化基于压电的样品台,专门设计用于安装在现有SEM 样品台上,使大面积高速元素X射线面分析"飞一样地"运行,速度高达4毫米/秒。这使得在 50 x 50 mm(或更大)的样本面积上采集 X 射线面分布数据成为可能。同时,轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的 X 射线数据也纳入快速且用户友好的工作流中

eX射线激发的样品深度更深,这让多层系统的表征成为可能。1 nm到高达40μm 的薄膜样品均可以分析,而这是用电子束源激发无法实现的

 

  

二、优势

通过 Micro-XRF 和快速样品台扩展您的 SEM 分析能力

a双束电压,包括电子束和X射线束,这为材料表征提供了新的可能性 - 可以同时使用两个束源来调查样品

b使用相同的探测器同时进行电子束/微区XRF信号采集,包括轻元素光谱数据,微量元素和/或更高能量X射线数据

cXTrace和 快速样品台 都无缝集成到 ESPRIT软件中

dEDS 和 微区XRF 定量方法相结合,将电子激发的更好的轻元素灵敏度与 XRF 更好的微量元素表征灵敏度相结合,产生更完整的样品表征结果

e与微区 XRF 和 电子束同步面分析表征,结合两个技术的优势。使用电子束激发较轻的元素(碳到钠),使用微区 XRF激发较重的元素

f剥离的谱峰峰值和扩展的光谱范围让用户能够看到高能量 K 线,因为它们不复杂且重叠峰更少

g几乎不需要样品制备 不导电样品表面,也无需抛光

h包含无标样和有标样定量模型

i)um尺度且低浓度水平下,也能同时分析轻元素和重元素

 

 

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