干法去胶

Trymax NEO200A系列自动干法去胶
  • 产品品牌: 荷兰 Trymax
  • 产品产地: 荷兰
  • 应用领域:
  • 产品简介:

【主要应用】

前道:Light Etching;Descum strip;PR Ashing;离子注入后,光刻后,镀膜前等工艺过程;

后道/先进封装/3D IC:Descum Bumping;Plasma Treatment;Wafer Cleaning等。

【主要参数】

Cassette

• 3轴机械手

单射频源配置(13.56MHz

单微波源配置(2.45GHz

双源配置(RF/MW

• DCP双源(RF/RF

适应wafer 100mm~200mm