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    导电探针显微分析原理及其发展初期基于X射线光谱分析和电子显微镜这两种技术，这种仪器本质上是这两种仪器的科学组合。电子探针是以电子形成的探针(细电子束)作为x射线的刺激源进行显微x射线光谱分析的仪器。分析对象是固体物质表面的小粒子或小区域，Z的小范围直径为1m。

  导电探针的工作原理是什么？

  导电探针的主要功能是微区成分分析。它是以电子光学和X射线光谱原理为基础开发的分析仪器。

  导电探针的原理是用：微焦电子束进入样品表面，刺激样品元素的特性X射线，分析特性X射线的波长(或能量)，就可以知道元素种类。通过分析特征x射线的强度，可以知道元素的含量。

  镜子部分结构与SEM相同，检查部分使用X射线谱检测X射线的特征波长(光谱仪)和特征能量(光谱仪)，对微区进行化学成分分析。

  x射线光谱是电子探针的信号检测系统分为什么？

  能量色散谱仪(EDS)是用于测量X射线特征能量的能谱(EDS)。

  波长色散谱仪(WDS)，简称谱仪，用于测量特征X射线波长。

  WDS组成：频谱主要由分光晶体和X射线检测系统组成。

  根据原理：布拉格定律，样品产生的特性X射线经过一定晶面间隔的晶体光谱，波长不同的特征X射线会有不同的衍射角度。通过连续改变q，可以在与X射线入射方向形成2q的位置检测不同波长的特性X射线信号。根据莫塞莱定律，可以确认测量的物质中包含的元素。

  为了增加接收的X射线强度，分光晶体通常使用弯曲的晶体。

  测试探针一般采用铍铜材料，表面镀金，提高导电性能。测试探头是导电的，主要用于信号传输和电流传导。探针具有寿命长、可连续使用的特性，成本不高，因此在电子测试中得到广泛应用，发挥着更重要的作用。

  在电子测试中，碎片模块可用于手机电池、屏幕、摄像头等连接器模块的测试。整体碎片结构，体形薄，镀金后经过硬处理，可携带的电流可达50A，电流流向相同材料时，可提供更好的连接能力。在小pitch领域，碎片模块的适应性很高，优选值范围至少达到0.15毫米，性能非常稳定。碎片模块的平均寿命在20w次以上，操作、维护、环境都很好的情况下为50w次，寿命长，不需要经常更换。高频率测试的响应能力很强，可以保持稳定的连接。